-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式炉

开启式管式炉

• 输入电源：208 – 240V AC, 1.2kW
• zui高工作温度1200℃（小于1小时）
• 连续使用温度1100℃
• 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率
• 高纯石英炉管，尺寸为 50mmOD x 44mmID x  780mmL
• 可设置30段升降温程序，并带有过热和断偶保护
• 加热区长度为200mm,恒温区长度为60mm(+/-1°C)
  
    
               （点击图片查看详细资料）

等离子体射频电源

• 输出功率: 5 -500W可调
• 稳定性为+/-1%
• 射频电源频13.56 MHZ, 稳定性±0.005% 
• zui大反向功率: 200W max
• 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体, 阴极
• 噪声<50 dB.
• 冷却方式：空气冷却
• 输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz  
   

真空法兰和接头

• 真空法兰采用304不锈钢制作
• 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
• 右端法兰设计为KF25接口，上面配有泄气阀，挡板阀和两个KF25卡箍
• 仪器中所配的数字真空计，可以不用因使用气体的不同而进行校正，同时还具有防腐功能（请点击图片查看详细介绍）
  
    

真空泵

• AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
• 2L/s
• 与本公司管式炉配套使用，可使其真空度达到10-2 torr
• 进气端带有储气球（防止回油），出气端安装有油雾过滤器（防止油雾扩散到空气中，保护环境和人体健康）
   

产品尺寸和重量

外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

净重: 160 lbs

可选配置

请点击查看下面的混气及气液混合系统

• 防腐型小型三路浮子混气系统
• 精密气液混合系统
• 三路质子混气系统
  

质保期

一年质保期，终生维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）

质量认证

CE Certified