2英寸高真空磁控溅射头--HVMSS-SPC-2-LD
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- 公司名称 中美合资合肥科晶材料技术有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/2/21 21:01:50
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HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头,可适用的靶材种类较广,如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
技术参数
特征 (点击图片查看详细资料)
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所需功率 |
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zui大溅射电流 | 3A |
溅射电压 | 100-1000 V |
溅射时腔体真空度 | 5-100 mTorr |
溅射均匀性曲线图 | |
尺寸 |
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靶材 |
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需要冷却水 |
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可选配件 |
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质保 | 一年质保期,终生维护 |