加热型等离子薄膜溅射仪--GSL-1100X-SPC12H

输入电源

208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W 

样品室

• 石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H
• 带有不锈钢法兰

衬底加热器

• 载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度
• 一个30段可编程温度控制器，控温精度±1ºC
• 推荐升温速率:15°C/m
• 样品台的高度可以调节
   

样品台                     温控盒后视图

真空配置

• 每个配件包含在内，可立即使用

• 仪器中配有一台2L/S双旋片机械泵，出气口安装有立式油污过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，和减少泵油的损耗，保护环境和人体健康。
• 高纯度金箔靶

进气口

有一不锈钢针阀安装在仪器上，可以通入氩气，能实现更好的等离子涂层

靶材

• 标配靶材
• 包含：4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm 
• 可选靶材：请点击查看 Au, Ag or Pt tagets.                

外形尺寸

L480mmx W320mm x H150mm

运输重量

160Lbs with crating

净重

20 kg

质保期

一年质保期，终身维护

质量认证

  Certified