VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

输入功率

• 110V / 220V 通用
• < 2000W (含真空泵)

输出功率

• 1600VDC
• zui大电流50mA 

样品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加热样品台
 

• 一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置 
• 基片可以放在样品台上. 加热温度 500°C
• PID控温方式和触摸屏面板，控温精度+/-10°C 
• zui长溅射时间不可超过5分钟

控制面板
 

• 控制面板为PLC，4.3" 触摸屏
• 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置 和 基片加热温度

可选
 

• KF25 真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管
• 120L/M旋片式真空泵（包含在仪器内）
• 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
• 各种高纯度金属靶
• 需要一个带压力调节器的氩气瓶 （这个我们不提供）

进气口

 一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量

靶材

标配靶材分别有

• 金，银，铜 靶材: 
• 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

       银靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

       铜靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

• 可选靶材点击链接、
  Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

• 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
• 净重:50KG

质保期

一年质保期，相关耗材除外，终身维护。

质量认证

   Certified