TSV-700DLC 镀膜机
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市利达科技有限公司
- 品牌
- 型号 TSV-700DLC
- 产地 TSV
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2017/7/10 0:31:31
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产品型号:TSV-700DLC
该设备可在锗,硅,硒化锌,硫化锌,玻璃基底上镀制红外高透射率的DLC膜层,可zui大直径300左右的平面零件,也可根据客户要求设计.
设备由优质不锈钢真空室,涡轮分子泵高真空抽气系统,水冷沉积靶及RF射频源,烘烤及控制系统,高精度气体输入系统,自动控制系统等部份组成.
● 功能: 真空室内部不小于∮700X500可镀膜零件zui大尺寸<∮400平面零件,可通热水与冷水的铜靶或不锈钢水循环系统 . 真空抽气系统,无油高真空抽气系统,低真空泵为直联泵,阀门,真空规管等具有防腐蚀功能.其中高阀为高精度电动高阀,预抽阀与粗抽阀为气动阀.
● 烘烤及温控:石英管加热或陶瓷加热,zui高温度≥300度可调
● 水冷沉积靶及射频电源: 水冷阴极靶由无氧铜制造,内通循环冷却水,可连续转动,速度可调.