HPR-80 活泼性/腐蚀性气体分析仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 英格海德分析技术有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 HPR-80
- 产地 英国Hiden公司
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2023/11/22 8:52:54
- 访问次数 2710
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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
|---|
HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用：
• 等离子体/反应性离子蚀刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半导体晶片加工研究
• 真空、等离子体过程
• 活性物质定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点：
• 加热的电抛光波纹管，快速偶合连结器
• 可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
• 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
• 进样压力从 1 mtorr 至大气压
• 电容压力计，压力检测可不受分析物影响
• 稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 软件 MASsoft 控制
• 矩阵反演，归一化及单峰参考
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