EQP 等离子体质量和能量分析仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 英格海德分析技术有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 EQP
- 产地 英国Hiden公司
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/3/22 10:48:26
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| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪应用：
· 刻蚀 / 沉积作用研究
· 离子植入 / 激光烧蚀
· 残余气体分析 / 泄漏检测
· 等离子体电极耦合，即在操作中遵从电极设定条件
· 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
Hiden EQP 等离子体质量和能量分析仪特点：
1、软件控制的离子汲取光学系统，以使等离子体扰动z小
2、45°静电扇区分析器，扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范围内，离子行程的z小扰动，及恒定离子传输
4、带差式泵的三级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
5、高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器，有7个数量级的动态范围
6、可调谐的离子源，用于电子附着选件的表观电势质谱分析
7、Penning规和互锁装置可提供过压保护
8、信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
9、1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
11、通过RS232、RS485或Ethernet LAN，控制软件MASsoft。
采购中心
化工仪器网