Pentagon QIII+ v2i Pres Rev2_03_0001. 表面微粒子计量器
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 苏州耀群科技股份有限公司
- 品牌
- 型号 Pentagon QIII+ v2i Pres Rev2_03_0001.
- 产地 美国
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2017/7/6 16:59:38
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耀群科技專業代理半導體測試、分析設備及冷凍空調無塵室工程Particlecounter檢驗等儀器。並備有客戶服務中心提供維修、校正代測及租借之服務.微粒子計數器應用於無塵室工程監控,DIWater,化學品,高壓氣體及製程設備各種微粒子監控.並提供維修,校正、技術諮詢,租借及代測工程服務因此在Particle&Defect方面,耀群科技提供完整解決的方案,相信可以成為貴公司好的技術顧問夥伴。
＊Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System
表面微粒子计量器, 小型环境微粒子、温湿度、压差、风速监控系统
美国Pentagon Technologies 的 QIII+ 应用于设备机台( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 内Surface Particles 量测, 可降低产品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作台面积台表面洁净度..等的验证. 此已为目前机台维护作业时的标准工具之一. Q-view 为一针对Mini-environment, Factory Interface 等
Critical Area 可量测 Particle, △P, TRH, Velocity..的监视模块, 可实时反应出Contamination Issue.
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