DHS-130型 DHS-130小型超光滑表面疵病数字化检测仪

本系列产品是目前国内外*的可对各种光滑光学元件和金属表面疵病实现快速、自动化、微米量级分辨率检测的数字化设备，能够有效解决目视检测效率低、准确性差的难题。可应用于光学元件、激光器谐振腔、微光元件、光滑金属、硅片、液晶屏、手机外壳、微缩文字等各类元件表面疵病的检测。可检测表面疵病的类型包括各种划痕、麻点、污渍、破边等。通过采用不同行程范围的扫描装置，可实现不同大小样品的检测，被检元件口径zui大可达1000mm×600mm或更大。本系统拥有多项国家发明。

系列产品主要技术指标：

1）检测样品zui大口径：（130mm×130mm）～（1000mm×600mm）； 

2）瑕疵分辨率：优于0.5um； 

3）检测的疵病几何特征：各种划痕、麻点、破边等、文字缺损校验；

4）被检样品可水平、垂直放置扫描检测； 

5）软件及结果输出：配备“超光滑表面疵病数字化评价系统”软件，可输出包含表面瑕疵定位、定量信息   的电子报表；

6）照明及成像系统：特制的无盲点照明系统配备显微散射暗场成像技术；

7) 评价标准：

  •标准  ISO10110-7  
  •美国军标  MIL-PRF-13830B
  •同时可以根据客户要求，对不同的样品（光学元件表面、金属元件表面）瑕疵（划痕、麻点、污渍等）的检出要求进行图像处理软件的研发；

 8）评价方法：采用获得国家发明的定量评估方法；

 9）对有特殊洁净要求的检测配备有专业的净化台；

 10）表面瑕疵质量检测应用范围：

 DHS-1 型（适合于中小口径检测）

 •各种精密光学元件、激光器谐振腔表面瑕疵；
 •金属元件表面瑕疵；
 •手机屏表面瑕疵。

 DHM-2型、DVL-3 型（可用于大口径检测）

 •大口径光学平板表面瑕疵；
 •大口径硅片表面瑕疵；
 •各类液晶屏、显示屏的表面瑕疵。