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等离子增强化学气相沉积炉(PECVD系统)

具体成交价以合同协议为准

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 上海皓越真空设备有限公司(简称皓越科技)是一家集研发、生产、销售电炉为一体的高新技术企业。公司地处中国经济发达上海,已拥有大型现代化标准厂房,成套的加工设备,完善的质量检测体系;汇萃了一批长期从事热处理炉、真空炉及特种炉制造和服务的技术精英,其中,研究生、本科以上学历的工程技术人员26人,技术工人65余人的精英团队,具备年产200套热处理炉、60套大型真空炉的生产能力。并与上海复旦大学、上海同济大学建立了长期友好的科技合作与人才培养基地。

公司一直专注于半导体材料、碳材料、复合材料和锂电材料四大领域,积累了丰富的行业经验和技术,竭诚服务于客户,提供完善的一体式产业解决方案。

在半导体材料领域,皓越科技致力为客户提供晶体生长设备和高温退火设备,适用于蓝宝石、碳化硅、氮化镓和氮化铝晶体的生长和退火。还推出氧化/扩散炉、LPCVD/PECVD等薄膜生长掺杂设备以及晶圆快速热处理RTP设备。

在碳材料领域,皓越科技拥有提供石墨烯、碳纳.米管的CVD及PECVD成套生长系统,并提供金刚石工具生产用真空炉和热压炉,以及碳材料用高温石墨化炉等。

在锂电材料领域,我们为客户提供连续正极材料生产窑炉,有辊道窑、推板窑等,以及用于负极材料生产用真空炉等。

在陶瓷基复合材料领域,拥有碳化硅陶瓷的无压烧结、反应烧结和重结晶烧结设备,氮化硅粉体合成炉以及陶瓷制品烧结炉,碳化硼陶瓷热压烧结炉等。

上海皓越真空设备有限公司所提供的产品技术先进,质量可靠,品种齐全。公司成立以来在市场上巳获得用户认可,其产品质量及服务获得用户的肯定,我们的优势不仅体现在高精度的温度控制领域,更多的是我们在工艺、真空,自动化控制及计算机温度分析系统有杰出的人才。

皓越人的愿景:成为新材料、新能源热处理领域。
皓越人的使命:推动新材料、新能源领域的快速发展;为新材料、新能源行业提供热处理解决方案。
皓越人的价值观:
客户为天:一切技术创新和服务理念均以客户的需求为导向,我们坚持以客户为主要,持续为客户创造价值,积极、快速的响应客户需求。为客户提供服务,是我们的工作方向和价值*,成就客户就是成就我们自己。
诚信为本:只有坚持诚信为本,才能言出必行,信守承诺。诚信是我们很重要的无形资产,皓越人坚持以诚信赢得客户。
创新为先:为了更好的满足客户需求,我们需要积极进取、勇于开拓与创新。任何先进的技术、产品、解决方案只有转化为商业成功才能产生价值。我们坚持以客户需求为导向,并围绕客户需求持续创新。
合作为赢:为了实现客户需求,除了持续创新,我们还要与供应商、合作商密切合作,只有合作才能实现双赢,合作是提升流程效率的有力保障。
发展为道:一切努力与奋斗,为了发展,我们成就了客户,自身也在发展。发展是硬道理,只有持续发展,我们与客户才能携手进步,员工与企业才能实现梦想。
皓越人的行为准则:

三大作风:认真,快,坚守承诺;

一个目标:客户满意100;

一个保证:保证完成任务。

皓越选人用人理念:

用对人,做对事!得人才者得天下!一切竞争,归根结底是人才竞争。选人用人,关乎皓越的成败;把合适的人放在合适的岗位上。

真空热压炉,真空烧结路,真空熔炼路,SPS等离子烧结炉,SIP气氛压力烧结炉等

  一、等离子增强化学气相沉积炉(PECVD系统)的应用:
  PECVD工艺中由于等离子体中高速运行的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成离子体,而等离子体化学活性很强,很容易反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点;
  二、产品特点:
  1、整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好。
  2、炉子底部装有一对滑轨,移动平稳,可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。炉盖可开启,可以实时观察加热的物料。
  3、采用高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小。
  4、采用SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空,一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷。
  5、加热元件采用康奈尔发热丝,表面负荷高、经久耐用。设计温度1200℃,升温速率10℃/min。
  6、可选配多路质量流量计,数字显示、气体流量自动控制;内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀,可通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。
  7、等离子射频电源:大射频功率达500W,输出频率13.56MHz±0.005%,输入电源 208-240VAC,单相50/60Hz。
  三、等离子增强化学气相沉积炉(PECVD系统)技术参数:

型号

HTF1200-2.5/20-2M-LV-PE

HTF1200-5/20-4M-LV-PE

HTF1200-6/40-2M-HV-PE

HTF1200-8/40-4M-HV-PE

设计温度(℃)

1200

1200

1200

1200

控温精度(℃)

±1

±1

±1

±1

加热区直径(mm)

25

50

60

80

加热区长度(mm)

200

200

400

400

加热管长度(mm)

450

450

1000

1000

恒温区长度(mm)

80

80

150

150

额定电压(V)

220

220

220

220

额定功率(KVA)

1.2

1.2

3

3

射频电源功率(W)

5~300

5~300

5~500

5~500

真空机组

HTF-101

HTF-101

HTF-104

HTF-104

供气系统

HTF-2F

HTF-4F

HTF-2M

HTF-4M





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