1、真空气氛管式电炉加热炉膛有上下两部分组成,其中上部炉膛可整体向后翻转110°,方便取放、观察实验物料,炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采取高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2。
2、真空气氛管式电炉密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
3、真空气氛管式电炉两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。CVD炉 cvd电炉 rtp炉 快速退火炉 立式电炉/管炉 石磨希电炉 RTP
4、真空气氛管式电炉*的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
国产程序 | SK-G03123K | SK-G04123K | SK-G05123K | SK-G06123K | SK-G08123K | SK-G10123K |
进口程序 | SK-G03125K | SK-G04125K | SK-G05125K | SK-G06125K | SK-G08125K | SK-G10125K |
温区 | 单温区 | |||||
zui高温度 | 1200℃ | |||||
加热区长度 | 210mm | 420mm | ||||
恒温区长度 | 70mm | 200mm | ||||
加热元件 | 高电阻优质合金丝OCr27Al7Mo2 | |||||
空炉升温时间 | <15min | |||||
额定功率 | 1.2Kw | 2.5Kw | ||||
工作电压 | 220V | |||||
温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑40段程序控制; | |||||
控温精度 | ±1℃ | |||||
石英管尺寸(mm) | Φ30/24x800 | Φ40/34x800 | Φ50/43x1000 | Φ60/53x1000 | Φ80/72x1000 | Φ100/92x1000 |
炉管材料 | 石英玻璃管 | |||||
炉管zui高工作温度 | <1200℃ | |||||
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min | |||||
外形尺寸(深x宽x高) | 290x400x479mm | 340x580x555mm | ||||
重量 | 35Kg | 75Kg | ||||
标准配置 | 气路总成一套 (含真空压力表)、石英管一支、石英堵两个、石英舟一个、钩子一把、高温手套一副 | |||||
真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统; | |||||
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质子流量控制系统; | ||||||
计算机集散控制系统; CVD电炉系统; |
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