管式梯度炉
- 公司名称 天津中环实验电炉有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2017/6/27 11:18:46
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1、管式梯度炉炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件一端采用表面温度1500度的优质硅碳棒,另一端采用1700度的优质硅钼棒
2、管式梯度炉密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
3、两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
4、*的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
国产程序 | SK-G06163-2T | SK-G08163-2T | SK-G06163-3T | SK-G08163-3T |
温区 | 双温区 | 三温区 | ||
zui高温度 | 1400℃/1600℃ | 1400℃/1600℃/1400℃ | ||
加热区长度 | 600mm | 550mm | 840mm | |
恒温区长度 | 110mm/110mm | 80mm/120mm/80mm | 100mm/150mm/100mm | |
加热元件 | 硅碳棒/硅钼棒 | |||
空炉升温时间 | <40min | |||
额定功率 | 6Kw | 7Kw | 9Kw | |
额定电压 | 220V | |||
温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑40段程序控制(选配); | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
石英管尺寸(mm) | Φ60/50x1200 | Φ80/70x1200 | Φ60/50x1200 | Φ80/70x1200 |
炉管材料 | 刚玉管 | |||
温区温差 | 两个温区温差应<400℃ | |||
炉管zui高工作温度 | <1600℃ | |||
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1400℃≤3℃/min;1400-1600℃≤2℃/min | |||
外形尺寸(深x宽x高) | 796x850x650mm | 796x1150x650mm | ||
重量 | 145Kg | 160Kg | 170Kg | |
标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表),刚玉管一支,刚玉堵四个,刚玉舟一个,钩子一把,高温手套一副 | |||
真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统; | |||
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统; | ||||
计算机集散控制系统; CVD电炉系统; |