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3D粗糙度重建模块可以帮助用户更加细致的分析Phenom台式扫描电子显微镜所得到的图像，提取出样品的隐藏信息，并将其可视化。

3D

3D图像可以帮助用户更好的理解样品特点，使得在2D图像中很难分辨的凹坑、划痕、刻纹等特征，变得清晰可见。

 粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的测量对于生产工艺的控制和改进具有重要意义。使用SEM图像作为信息收集手段，可以获得较传统（非直接）手段更佳的分辨率。

3D粗糙度重建模块是Phenom的理想扩展，特别适用于下列领域：

机械加工的质量控制

 纹理分析

? 证物鉴定

? 缺陷&失效分析

?摩擦学-磨损分析

3D粗糙度重建模块的主要优点：

?   远优于光学或机械测量手段

 高分辨率

 可测量反射样品

 直接测非破坏性

?   创新性全自动用户界面

?   无需倾斜样品

?   完整解决方案

?   快速重建

?   适用于任何Phenom