紫外臭氧清洗工作原理：
清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到几分钟完成。
*注1：白色氧化铝暴露在UV能量下会变黄。这种现象是由于基材吸收UV能量， 而不是一种涂层。这种氧化铝在加热情况下会转化为他原来的颜色。
**注2：清洗元件温度的上升取决清洗过程的时间长度。在大多数应用，元件温度可以视为室温。
UV紫外臭氧清洗的特点:
· 超洁净表面
· 室温操作
· 快速－大多数应用10分钟内可完成
· 运行简单
· 超低采购成本和zui小运行成本
· 10×10 英寸（25.4×
· 220伏
T10X10紫外臭氧清洗机是一款台式的紫外臭氧清洗设备。通过紫外线（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能够简单，经济，快速获得超洁净表面。能去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗几分钟。
T10X10紫外臭氧清洗机的属性：
| UVOC紫外清洗机 | ||
| | Model | |
| 型号 | T10x10/OES | |
| 光照尺寸 | 10" x 10"（25.4× | |
| 有效面积: | 100 sq. in. | |
| 宽: | 14" | |
| 深: | 23 3/4" | |
| 高: | 14.5" | |
| 托盘推出深度: | 33" | |
| 滑行托盘: | 1 | |
| 结构: | 箱体和托盘为不锈钢结构 | |
| 功耗: | 110Vac / 60Hz | |
| 臭氧排气系统: | 有臭氧排气系统 | |
| 排气口尺寸: | 3" 直径 | |
| 排气需要: | 100cfm | |
| 定时器: | 在开始或结束时峰鸣 | |
| "ON"指示器: | 有 | 有 |
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