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IWAKI易威奇 空气驱动点胶机 SB 系列

IWAKI易威奇 空气驱动点胶机 SB 系列

空气驱动点胶机 SB 系列

非常适合半导体制造工艺中的光刻胶涂层

SB 系列的特点

高精度

我们高精度地测量和分配光刻胶和其他化学溶液。 为了优化光刻胶滴落量，提高了每次喷射的分配精度，并安装了回吸器（可选）以防止光刻胶从排放端脱落。

波纹管内部的死体积极小，其结构可防止液体停滞。 无密封结构和低速气缸的使用可实现光刻胶的低速注入并防止空气进入光刻胶。

轻巧紧凑的设计

泵可以垂直或水平方式安装（SB-4K/5/6 除外），并且可以选择系统集成的最佳形状。 紧凑的设计还为外围设备腾出了空间。

此外，还提供带有机械挡块的气缸，该气缸可通过单个泵控制细微的吐出量，以及带有传感器的气缸，可以可靠地检查运行情况。

不锈钢和含氟聚合物

不锈钢 （SUS304） 和含氟聚合物 （PTFE， PFA） 类型可作为接液材料提供。 它具有出色的耐腐蚀性，不会污染液体，并且对于高分辨率、高纯度光刻胶等液体质量控制是安全的。

气动波纹管泵

超洁净规格，在半导体制造工艺方面拥有丰富的经验。

开发的波纹管使用寿命长，有助于减少停机时间。

专为半导体制造工艺设计的气动波纹管泵。 自成立以来的 30 多年里，IWAKI 始终响应市场需求并积极开发新产品。 这些产品的质量和性能受到世界各地设备和晶圆制造商的高度评价。

除了泵之外，控制器和阻尼器以及化学品补充泵系统等外围设备也进行了标准化。 凭借更广泛的产品阵容，我们可以处理广泛的应用，包括湿式清洗工艺、化学品供应设备和 CMP 工艺。

气动波纹管泵的特点

波纹管设计，使用寿命长

含氟聚合物的无污染设计，对所有接液部件具有出色的耐化学性和耐热性

泵头和波纹管采用一体式焊接结构，无需担心液体泄漏。

主要应用

向清洗设备供应化学品 晶圆清洗液的循环 CMP 浆料溶液的供应