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高精度测量新标gan：LTC 光谱共焦位移传感器 —— 支持真空环境定制化解决方案

引言

核心优势：重新定义精密测量标准

1. 极zhi精度，全场景适配

• 超高重复精度与线性精度：部分型号重复精度可达 3nm，线性误差低至 ±0.03μm，远超传统激光传感器，满足纳米级精度要求。

• 多光斑智能切换：提供小光斑（φ1.7μm）、大光斑及四光点式光斑，适配微小目标物（如芯片引脚）、粗糙表面及复杂轮廓测量，有效抑制表面凹凸干扰。

• 超大测量角度：支持 ±60° 测量角度，无需严格对准被测物，对深孔、凹坑、曲面实现无si角检测。

2. 抗干扰能力强，复杂环境稳定输出

• 共焦光学设计：通过针孔滤除杂光，仅聚焦位置的单色光被接收，抗环境光干扰能力卓yue，在强背光、多光源场景下仍保持数据稳定。

• 透明 / 镜面材料友好：同轴共焦光路设计解决传统激光传感器在透明介质（如玻璃、晶圆）或镜面表面的光斑偏移问题，实现高度变化时测量点无偏差。

3. 超快响应，高效生产赋能

• 最高 10kHz 采样频率：实时捕捉高速运动物体（如高速旋转工件、生产线动态检测），确保动态测量无延迟。

• 多接口兼容：标配 USB、RS485、以太网、模拟量等 6 种 I/O 通道，支持 PC 端软件、PLC 总线、编码器同步触发，无缝集成至自动化产线。

4. 真空环境定制：突破极限环境约束

• 特殊材料与密封设计：针对真空（10⁻⁶Pa 级）、高低温（-20℃~+80℃）、高洁净等极duan环境，采用全金属密封探头、抗挥发涂层及真空兼容光学元件，确保长期稳定运行。

• 行业专属解决方案：适用于半导体晶圆制造（真空腔体内厚度检测）、航空航天部件真空环境测试、OLED 面板真空贴合精度校准等场景，定制版本经严格真空环境测试，性能零衰减。

技术原理：光谱共焦，光与距离的精准映射

采用白色点光源经色散共焦探头，不同波长光聚焦于不同距离，形成 “光学位移标尺”。被测物反射光通过同轴光路返回，经针孔筛选后由光谱仪解析波长分布，通过波长 - 位移转换曲线实时计算距离变化。该原理避免了传统三角测量法的角度依赖性，对倾斜、曲面、透明介质实现无偏差测量。

产品矩阵：多元型号满足差异化需求

应用领域：精密制造的全能助手

• 半导体与电子：晶圆厚度 / 平整度检测、芯片封装高度测量、PCB 焊盘共面性分析。

• 光学与显示：手机玻璃曲面 R 角测量、OLED 面板厚度均匀性检测、镜头曲率高精度校准。

• 航空航天：发动机叶片型面检测、航空部件真空环境变形监测、涂层厚度非接触测量。

• 科研与计量：材料表面粗糙度分析、微纳米器件位移标定、生物医学细胞显微测量。

泓川科技可定制真空环境光谱共焦传感器

定制服务：从标准到专属的精准适配

• 真空环境适配：提供探头密封性强化、真空兼容线缆、抗热胀冷缩结构设计，支持 10⁻³Pa~10⁻⁶Pa 真空度定制。

• 特殊接口开发：根据客户需求定制 EtherCAT、Profinet 等工业总线，或集成至特定自动化系统。

• 光路定制：支持轴向 / 径向出光模式、多探头阵列集成，满足复杂工位的多角度同步测量。

结语