一、简介
1、概要
SPK-500S 宽幅线性等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
2、宽幅等离子清洗机产品特点
（1）金属电极之间放置电介质，利用电介质表面的分极现象，形成均匀的电场，产生等离子体；
（2）可以在整体大范围内形成等离子体，可以跟自动化流水线搭配使用；
（3）更可靠的功放与直流模块，采用全自动真空电容匹配器提供长期稳定的制程时间保障；
（4）适合于大尺寸产品批量生产；
（5）处理温度低，常规处理温度＜40℃；
3、行业应用
（1）显示行业：TP贴合、面板表面活化、ITO涂覆前表面清洗；
（2）玻璃盖板行业：AF镀膜前处理、AF/AS溢镀去除、油墨印刷；
（3）半导体：集成封装键合、Wire bond前处理、陶瓷封装、BGA/LED表面活化；
（4）线路板：FPC/PCB电路板有机物清洗与表面活化；
（5）塑胶行业：表面改性、表面粗化；
二、宽幅等离子清洗机规格
1、设备规格
| 宽幅等离子主机 | |
| 设备尺寸 | L1800×W1107×H1408mm |
| 重量 | 280Kg |
| 需求电源 | AC 220V/50Hz 单相2.5KW |
| 等离子发生器规格 | |
| 电源功率 | 0-600W可调 |
| 电源频率 | 13.56MHz |
| 匹配器 | 全自动真空电容匹配器 |
| 等离子枪头规格 | |
| 处理宽幅 | 800mm |
| 枪头尺寸 | L570*W90*H74mm |
| 重量 | 10Kg |
| 枪头可调节高度 | 0-10mm（调节精度 ±0.3） |
| 常用处理高度 | 1-5mm以内 |
| 枪头冷却范围 | 25-35℃ |
| 工艺气体 | |
| 使用气体 | Ar与O2两路气体 |
| Ar气体调节范围 | ≤50L/min |
| O2气体调节范围 | ≤50SCCM |
| 流水线规格 | |
| 流水线速度 | 0-100mm/s可调 |
| 传送皮带 | 1.5米 |
| 皮带材质 | 防滑PU |
| 感应与报警 | |
| 感应系统 | 卡片与叠片感应与急停 |
| 报警 | 具备声光报警功能 |
2、厂务规格要求
| 安装环境要求 | |
| 需求电源 | AC 220V/50Hz 单相2.5KW |
| 厂务氩气 | 压力：0.3-0.8Mpa |
| （Ar） | 流量：15-50L/min |
| 纯度：99.99% | |
| 厂务氧气 | 压力：0.1-0.5Mpa |
| （O2） | 流量：0-100mL/min |
| 纯度：99.99% | |
| 维修空间 | 100cm |
三、配置清单
| 配置清单 | ||||
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 备注 |
| 1 | 等离子电源 | 0-600W | 1 | |
| 2 | 等离子匹配器 | 匹配器 | 1 | |
| 3 | 流水线 | 长1800mm×宽520mm | 1 | |
| 4 | PLC | 松下PLC | 1 | |
| 5 | 低压电器类 | 常规用电器 | 1 | |
| 6 | 流量计 | Ar和O2 | 2 | |
| 7 | 冷水机 | 450W，5-35℃ | 1 | |
| 8 | 等离子枪头 | R500 | 1 | |
四、耗材
| 序号 | 名称 | 型号和规格 | 数量 | 寿命时间 |
| 1 | 陶瓷管 | 陶瓷 | 1 | 4000-6000小时 |
| 2 | 出气板 | R500-02 | 1 | 6000-10000小时 |
| 3 | 电极 | R500-01 | 1 | 15000小时 |
五、服务范围
1、保质期1年，保质期内，在正常使用情况下无偿更换损坏的零部件；
2、若操作在设备不能符合范围内，导致相关零部件损坏，敝公司不负责赔偿责任；
3、遇地震、火灾、台风、海啸等不可抗力灾害导致设备损坏，敝公司不负责赔偿责任；
4、非使用原厂零部件直接或间接造成设备损坏时，敝公司不负责赔偿责任；
5、若因设计不当，造成设备有损坏或瑕疵，敝公司无偿更换瑕疵或损坏的零部件；
6、质保期后，贵公司需自行负责更换零部件所需的耗材及服务费用。
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