设备配置
光束形状
探针到被测样品的距离为 30 mm 时的模拟结果
测量目标
半导体
太阳能电池
平板显示器
玻璃（涂层）和
薄膜
反射涂层厚度监测仪是一种光学干涉反射光谱涂层测厚仪，它使用微型反射探头，可应用于从实验室级别到生产过程中的在线检查的所有情况。 它具有出色的可维护性，可用于集成到工艺设备和生产线管理应用中。
最多可同时测量 9 种类型的透明膜。
它具有出色的可维护性，可用作工艺设备或生产线管理应用的集成。
例如，在沉积、抛光和蚀刻过程中，它可以用作在线监视器或终点监视器（终点检测传感器），从而实现薄膜厚度的实时监控（实时监控）。
它还可用于评估多晶硅的结晶度和多孔薄膜的密度。
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北崎国际贸易（北京）有限公司
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