v 系统功能:用于测量半导体材料的电阻率/电导率、流动性、散装/片状载体浓度、掺杂类型、霍尔系数、磁阻、垂直/水平阻力比的半导体高性能霍尔系统。模块化设计理念,允许轻松升级,该系统适用于各种材料,包括硅和化合物半导体和金属氧化物膜等
v 该系统具有低电阻率和高电阻率测量功能,具有双重温度功能和一个可选的低温恒温器,可扩展该系统温度范围从90K到500K
v 方块电阻量程:10-4 Ω/sq ~ 106Ω/sq
v 载流子浓度量程:106 ~ 1021 cm-3
v 载流子迁移率量程:1 ~ 107 cm
v 四个微调探针座,探针直接形成ohm接触,无需焊线或制作PCB板
v 样品测量直径:25mm
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