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光谱椭偏仪

建模

测量参数可以模拟作为波长、光子能量、倒数厘米、入射角、时间、温度、薄膜厚度测量和其他参数的函数

自动扫描

我们光谱椭偏仪的自动扫描的选项具有预定义或用户定义的模式、广泛的统计以及数据的图形显示，如2D颜色、灰度、轮廓、+/-偏离平均值和3D绘图。

SpectraRay/4，SENTECH所有的光谱椭偏测量软件，包括数据采集、建模、拟合和椭偏测量、反射和传输数据的扩展报告。它支持可变角度、多实验和组合光度测量。SpectraRay/4包括基于SENTECH厚度测量和文献数据的庞大的材料数据库。大量的散射模型允许对几乎任何类型的材料建模。

SpectraRay/4提供了用户友好的面向工作流的接口来操作SENTECH光谱椭偏测量工具以及建模、拟合和表示椭偏测量数据的综合工具集。用户界面结合了面向操作人员的配方模式以及用于交互式测量和建模的高级模式。

SpectraRay/4具有单轴和双轴各向异性材料测量、薄膜厚度测量和层测量的功能。该软件可处理样品效应，如去极化，非均匀性，散射(米勒矩阵)，以及背面反射。

SpectraRay/4包括用于数据导入和导出(包括ASCII)、文件管理、光谱的算术操作、显示、打印和报告输出(Word文件格式*.doc)的通用光谱椭偏测量软件包的所有实用程序。脚本程序使得它非常灵活，适用于自动化日常测量，为苛刻的应用所研发，并可控制第三方硬件，如传感器，加热台，样品电池或低温恒温器。