产品描述
超高真空微型光栅尺SMG26特点，体积小，结构紧凑，适用于超高真空使用，良好的耐高温性，最高可达100℃，SMG26系列光栅的栅距为256μm，下表为不同细分倍数下的允许速度值，精度高，绝对精度±3μm（20℃），采用玻璃栅尺，膨胀系数小，读数稳定性良好。分辨率高，配合TF15细分接头，读数分辨率可达1nm。安装容许公差大（容许误差±0.1mm）。
○体积小，结构紧凑。
○适用于超高真空使用。
○良好的耐高温性，最高可达100°C。
○精度高，绝对精度±um(20°C)
○采用玻璃栅尺，膨胀系数小，读数稳定性良好。
○分辨率高，配合TF15细分接头，读数分辨率可达1nm，
○安装容许公差大(容许误差±0.1mm)
TF细分盒信号速度介绍
SMG26系列光栅的栅距为256um，下表为不同细分倍数下的允许速度值。
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北京中显恒业仪器仪表有限公司
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