产品描述
国产手动台阶仪JS10B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS10B提供一个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
手动台阶仪 JS10B关键技术指标
装载晶圆尺寸：150mm\200mm\300mm
台阶高度重复性 ：≤0.5nm(1um标准块重复扫描30次)
台阶测量高度：≤80um
样品平台行程：可实现水平(X/Y)，旋转(RZ)电动控制
单次扫描距离：≤55mm
探针压力：0.5~50mg
探针直径：≥2um 探针1个，≤1um 探针1个
• JS10B技术参数
• 配套软件介绍
• 应用案例
测金属片
测电极
测光刻胶
测膜厚
测标样
测标样
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北京中显恒业仪器仪表有限公司
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