超环面光栅单色器，采用像差校正超环面光栅进行衍射分光，可以在较宽光谱范围内保证高的光谱分辨和光通量。 通过选配不同的光栅型号，可以实现10-300nm范围的光谱覆盖。超环面光栅单色器可应用于强场与高能量密度物理、半导体与集成电路制造、探测器&光源计量级标定和极紫外反射率研究。
主要参数：
● 波⻓范围：10~300nm
● 低像散
● ⾼真空兼容，10-4 Pa，超⾼真空可定制，10-7 Pa
● 具有5μm~300μm在线连续可调狭缝
● 单光学元件设计，结构简单，效率⾼
● 具备远程激光快速瞄准定位功能
● 光谱分辨率：0.1nm@37.93nm，可根据需求优化
选配范围：
测试数据：
应用领域：
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