产品简介： PCE-6V 小型等离子清洗机集成了 RF 等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采 用气体作为清洗介质， 有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵， 清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面， 可短时间内清洗掉有机污染物， 清洗程度可达到分子 级。另外， 其样品台可选配加热功能， 可加负偏压， 用以实现离子蚀刻。此外， 其可在特定条件下根据需 要改变某些材料表面的性能。
产品型号 | PCE-6V 小型等离子清洗机 |
主要特点 | 1、采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 |
2 、可短时间内清洗掉有机污染物。 3 、清洗程度可达到分子级。 4 、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消 毒和杀菌。 6 、样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。 | |
7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、 微观流体学等领域。 | |
技术参数 | 1 、电压： AC220V 10A 2、消耗功率： <500W （包括真空泵） 3 、RF 电源： 输出功率 100W ，输出频率 13.56MHz |
4、腔体： Ø190mm×98mm 5、石英管： Ø180mm×55mm ，壁厚 7mm | |
6、内腔： Ø165mm×55mm 7、清洗电极： Ø120mm 8、样品台： Ø150mm ，有效尺寸 Ø140mm 9、样品台与电极间距： 15mm-50mm 可调 10、抽气管： Ø12mm | |
11、极限真空度： 0.1Pa 12、工作真空度： 60Pa-500Pa 13、气路数量： 2 路（选装） 14、流量控制器数量： 1 、2 15、流量显示仪： 2 通道 | |
16、气路接口： Ø6mm 17、加热样品台： Ø140mm ，加热样品温度 RT-600℃±1℃（选装） 18、冷却水压力： 0.2KPa-0.4KPa 19、工作环境： 温度 5℃-35℃，湿度<80% （相对湿度）不结露， 海拔高度 0-2000m | |
产品规格 | 尺寸： 245mm×235mm×460mm （不含真空泵），重量： 20kg （不含真空泵） |
可选配置 | 1、加热样品台 2、流量控制器（量程 10 、50 、100 ，最多可增加 2 个通道） |
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