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借助 3D 粗糙度重建系统，飞纳台式扫描电镜（SEM）可以生成样品的三维图像，并进行亚微米量级的粗糙度测量。基于“阴影显形”技术，3D 成像有助于展示样品特征。

3D

3D 图像可以帮助用户更好地理解样品特点，使得在 2D 图像中很难分辨的凹坑、划痕、刻纹等特征，变得清晰可见。

粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的测量对于生产工艺的控制和改进具有重要意义。使用 SEM 图像作为信息收集手段，可以获得比传统（非直接）手段更佳的分辨率。3D 粗糙度重建模块是飞纳台式扫描电镜的理想扩展，特别适用于下列领域：

• 机械加工的质量控制

• 纹理分析

• 证物鉴定

• 缺陷 & 失效分析

• 摩擦学-磨损分析

3D 粗糙度重建系统可在包含多个飞纳台式扫描电镜（SEM）特定应用程序的 Phenom ProSuite 中获得。

3D 粗糙度重建系统的主要优点：

• 远优于光学或机械测量手段

- 高分辨率

- 可测量反光样品

- 直接测量

- 非破坏性

• 创新性全自动用户界面

• 基于“阴影显形”，无需倾斜样品

• 完整解决方案

• 快速重建

• 直观的用户界面