半导体微量光子检测显微镜
半导体微量光子检测显微镜
产品特征参数
软件图像处理功能
8寸高压手动气浮探针台
紫外、可见光、红外显微光学系统
2倍、5倍、10倍、20倍与50倍红外物镜
400 -1000 nm 或900-1700 nm响应波长
支持3000 V高压偏置
相机与源表的一体化控制程序
应用方向
GaN与SiC 基功率器件
的漏电“热点”定位
GaN基LEDs与结型探测
器的漏电“热点”定位
Si基MOSFET与IGBT等功
率器件的漏电失效“热
点”定位
GaAs基激光器光分布与
漏电“热点”定位
常规的器件的静态电学
参数测试。
相关系列有关于芯片失效与缺陷检测都可以联系我司，可看样机测试
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上海谨通仪器仪表有限公司
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