晶圆烘箱 MES无氧烤箱 三清仪器定制工作室采用SUS304洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理，内部光亮整洁，自身洁净不产尘。
产品主要技术参数：
品 名 | 千级洁净烘箱 |
型 号 | SKCOL-9070A*4 |
工作室尺寸 | W400 * D350 * H500 MM |
总消耗功率 | 2.0 KW |
洁 净 度 | Class 100 （立方英尺0.5UM颗粒数小于100，立方米0.5UM颗粒数小于3520） |
容 积（L） | 70 L |
温 度 | RT+20 ～ +250℃ |
配 置 | P.I.D控温 三色灯，急停按钮 |
设备技术指标
项目 | 内容 |
工作室容积 | （400mm×350mm×500mm ）(W宽×D深×H高） |
工作温度范围 | RT+20 ～ +250℃ |
升温速率 | 5℃/min （空载，非线性） |
温度偏差 | ≤±1℃(空载，恒定状态时) |
温度精度/分辨率 | ±0.1℃ |
温度波动度 | ±1℃(空载，恒定状态时) |
温度均匀性 | ±1.5%(空载，恒定状态时) 200℃时误差为±3℃ |
时间定时范围 | 0 – 9999 小时，分钟，秒 |
洁净等级 | Class100 立方米≥0.5UM尘粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM尘粒≤1000 |
总功率 | 2.5 KW |
电源 | 220V 50Hz （三相五线） |
电源线 | 2.5米 |
箱体结构系统
项目 | 内容 |
结构方式 | 整体结构采用单门立式结构，控制柜位于箱体上方，外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后喷塑，工作室采用SUS304洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理，内部光亮整洁，自身洁净不产尘。 |
材料构成 | 1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷轧钢板静电双面喷塑，颜色为工业白。 2.内壁材料：2.0mm厚SUS304镜面洁净不锈钢板。 3.绝热材料：100mm厚120K高密度硅酸铝纤维保温材料。 |
结构强度 | 箱底板承重能力：≤130Kg（均匀负载） |
柜门 | 1．单开门结构，门框镶嵌耐高温硅橡胶密封条。 2．拉手采用拉杆式安全防爆拉手。 |
备注：干燥箱工作室内部经过碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。用户在使用洁净烘箱之前应使用无纺无尘布擦拭工作室内部及隔板。
项目 | 内容 |
配置 | 1．风道位于箱体顶部与背部，高效过滤器H.E.P.A位于箱体风道内部。 2．热风经过H.E.P.A进入干燥箱内部，再循环至顶部进入风道，往复循环。 3．三相异步长轴耐高温长轴马达，带相序保护，超温过流保护。 4．不锈钢涡轮扇叶，出厂经动平衡调校，确保送风平稳。 5．排风口：不锈钢排风管，带自动风阀，排风管位于箱体背部。 |
工作方式 | 设备启动，鼓风装置持续运行，箱内热风循环。 |
过滤系统
项目 | 内容 |
配置 | 1．耐高温高效过滤器，过滤等级H13 (99.97% - 99.99% @0.3um） 2．采用进口耐高温超细纤维芯材，连续耐温350℃，铝箔隔层，陶瓷胶密封 3．边框配置玻璃纤维耐高温密封条 |
工作方式 | 设备启动，热风循环启动，热风通过高效过滤器H.E.P.A实现箱内自净化。 |
安全保护系统
项目 | 内容 |
工作室 | 独立式工作室超温保护器 |
加热系统 | 欠压、超压保护.过流保护.加热器断线保护.超温保护 |
热风循环系统 | 相序保护.缺相，欠压保护.过热，过载，过流保护 |
电源系统 | 电源缺相及相序错误保护.漏电保护.加热器超温保护.加热器短路过流保护 |
其他 | 设备外壳接地保护，电磁门禁系统 |
采购中心
