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LH2000-镭测科技双频激光干涉仪

2023-06-27

产      地:
中国
所在地区:
北京北京市
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镭测科技双频激光干涉仪LH2000满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;以光刻机用激光干涉测量系统为基础,在保留高稳定性、高精度、高采样速率的同时,将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;典型频差7±0.5 MHz,测速高达2m/s。

系统组成:
镭测科技双频激光干涉仪 LH2000激光测头及附件
环境补偿单元
LaserLC测量软件
线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
光学调整附件
三脚架及其他测量附件

激光头尺寸330mm×110mm×95mm
激光头重量3.3kg
激光光束直径6mm
激光功率>0.5mw
真空波长632.99nm
频差可定制 典型值7±0.5 MHz
工作温度范围+10℃~+30℃
储存温度范围+15℃~+45℃
激光稳频精度±0.02ppm
线性测量范围40m
线性测量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)
分辨率1nm
测量速度2m/s
工作电源220V/50Hz




北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息,更多相关信息及产品资料可联系公司客服电话,7*24小时为您服务!







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