蔡司 Sigma 300 系列扫描电子显微镜
拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜
InLens 探测器
InLens SE: 镜筒内高分辨二次电子探测器
HDBSD探测器
高清晰度背散射电子探测器，在所有真空模式下， 可对各类样品进行出色的低电压组份成像
智能并加速工作流程
Sigma 300的4 步工作流程可控制Sigma 的所有功能。可快速获取图像，同时，节约在培训上的时间。.
导航您的样品，并为其设置的成像条件。
在样品上定义感兴趣区域，可自动实现在多个样品上采集图像。
获得可关联的可视化结果。
先进的分析系统
n 在样品上定义感兴趣区域，可自动实现在多个样品上采集图像。
n 获得可关联的可视化结果。
n 扫描电镜与要素分析相结合：
Sigma 300顶尖的EDS 几何设计能够增强分析能力，尤其是对电子束敏感的样品。
n 可实现在之前一半的束流下得到分析数据，同时测试速度比之前快一倍。
n 8.5mm 的工作距离和35 度的出射角，可得到没有阴影区域的分析结果灵活的探测手段获取高分辨率的图像。
灵活的探测手段获取高分辨率的图像
n 使用最新探测器技术描绘您的所有样本。
n 使用新型的ETSE 二次电子探测器及用于高真空状态下的InLense 二次电子探测器可以获得高分辨率的形貌信息。
n VPSE 和C2D探测器在各种压力模式下都可以获取清晰的图像。
n 使用环形STEM 探测器可以获取高分辨率的传送图像。
n 使用四通道BSD探测器和钇铝石榴石晶体探测器研究成分。
技术参数
主要技术参数 | |||
蔡司Sigma 300 | 蔡司Sigma 500 | ||
电子枪 | 肖特基场发射 | 肖特基场发射 | |
15kV 对应分辨率 | 1.0 nm | 0.8 nm | |
1kV 对应分辨率 | 1.6 nm | 1.4 nm | |
背散射电子探测器类型 | HD BSD | HD BSD | |
最大扫描速度 | 50 ns/pixel | 50 ns/pixel | |
加速电压 | 0.02 – 30 kV | 0.02 – 30 kV | |
放大倍率 | 10× – 1,000,000 × | 10× – 1,000,000 × | |
探针束流 | 3pA -20nA (选 20nA ) 6pA -100nA (选 100nA) | 3pA -20nA (选 20nA ) 6pA -100nA (选 100nA) | |
图像存储分辨率 | 32 k × 24 k pixels | ||
接口 | 12 | ||
能谱接口 | 2 ( 1 个 EDS 专用及诶口) 3 (2 个 EDS 专用及诶口) | ||
高真空模式 | Yes | Yes | |
样品仓尺寸 |
365 mm (Ø) x 275 mm (h) | 2 – 133 Pa 358 mm (Ø) x 270.5 mm (h) | |
样品台种类 | 全电动5轴样品台 可选配全电动5轴样品台 | 全电动5轴优中心样品台 | |
X 方向移动范围 | 125mm | 130mm | 125mm |
Y 方向移动范围 | 125mm | 130mm | 125mm |
Z 方向移动范围 | 50mm | 50mm | 50mm |
倾斜范围 | -10 to +90 degrees | -3 to +70 degrees -10 to +90 degrees | |
旋转范围 | 360° Continuous | 360° Continuous 360° Continuous | |
最大样品载重 | Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY platform only Up to 0.5 kg | Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY platform only | |
最大样品尺寸 | 250 mm (Ø) x 145 mm (h), With the ZTR module removed; At the analytical working distance | ||
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