ACU20P系列 Torr级托尔压力控制器EPC/压力计
为直通式设计，测量范围从100Pa 到 20MPA（绝压和表压皆可）。精确度高、重复性好，分为前压控制和背压控制两种。标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板，提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制。
该基本数字PC具有测量和控制所需的所有基本功能。除了配备标准的RS485输出信号，还提供模拟I/O信号。可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀，具有超快和平稳控制的特性。
我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀，高流速应用使用先导阀。
应用领域：半导体工艺，气相和液相色谱仪，MOCVD过程中蒸汽压力控制，挤塑成型过程中气体压力保护控制，高压釜/反应釜压力控制等。
Torr级托尔压力控制器EPC/压力计
产品参数：
技术参数 | 精度(包括线性和滞后性) | ±0.5%F.S | |
压力量程比 | 压力计 | 1:50 | |
压力控制器 | 1:20 | ||
重复性 | ≤0.1% | ||
传感器响应时间 | 0.2s | ||
控制稳定性 | ≤±0.05%F.S(测定条件：1 L/min N2) | ||
运行温度 | -10~+70℃ | ||
温度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||
方位影响度 | ＜0.03 KPa（绝压/表压传感器） | ||
＜0.6 KPa（差压传感器） | |||
预热时间 | 忽略不计 | ||
机械部件 | 材质 | 不锈钢 | |
工艺连接 | G3/8" | ||
密封材质 | 氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他 | ||
防护等级（外壳） | IP40 | ||
电气特性 | 电源 | 15~24Vdc | |
数字输出 | RS485/RS232、profibus协议 | ||
电气连接 | DB9 | ||
如所需参数与上述列举不同，请另行沟通咨询
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