实验室等离子清洗机 PLUTO-T特点:
1. 桌面型,性能稳定、操作简便、使用成本极低、易于维护,高性价比。
2.小身材,大容量,有效处理面积大
3.采用气浴电极,清洗效率高。
4.可选择40K赫兹等离子发生器。
5.对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等
物件表面进行超清洗和表面改性。
实验室等离子清洗机 PLUTO-T参数:
1. 真空腔规格: 不锈钢腔体,直径150mm*(深)245mm
2. 电极:平板气浴电极,材质6061-T6铝合金
3. 电极尺寸:95*170mm
4. 频率:40K赫兹 (可选配13.56M赫兹射频等离子源)
5. 功率:0-300W连续可调,精度1W,可在设备运行中随时调整参数
6. 气体控制:针式气体流量阀, 0-300ml 1路气体
7. 真空计:电偶式真空计,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏,全手动控制和全自动控制两种控制方式
控制软件功能:界面显示实时工作状态