气体质量流量计控制器配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体质量流量计控制器配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
该气体质量流量计控制器配比器技术资料;
产品型号 | KT-C2Z | KT-C3Z | KT-C4Z | |
气体通道 | 2进1出 | 3进1出 | 4进1出 | |
可根据需求定制 | ||||
产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | |||
可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | |||
产品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | ||
重复精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | ||
线性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | ||
响应时间 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | ||
工作温度范围 | (5~45)°C | |||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | |||
大功耗 | 40W | |||
进气口压 | ≤0.6MPa | |||
连接管道 | 316不锈钢管道 | |||
截止阀类型 | 电磁阀 | |||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | |||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa | |||
控制方式 | 7寸触摸屏智能调节 | |||
时间设定 | 0-32000分钟 | |||
清洗功能 | 一键清洗 | |||
程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | |||
压力显示 | 有（出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路） | |||
气体混合罐 | 有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） | |||
气体加热 | 无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调） | |||
流量累计 | 有（累计当前运行总流量） | |||
可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | |||
抗电磁干扰 | 有 | |||
外形尺寸 | 510x330x240mm | 510x390x240mm | 510x450x240mm | |
重量 | 18KG～45KG | |||
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