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型号：SAT-12D
主要应用 ：

1.表面清洁  2.表面活化  3.键合  4.去胶  5.金属还原  6.简单刻蚀  7.去除表面有机物  8.疏水实验   9.镀膜前处理等
主要特点 ：

1．真空等离子清洗机实时显示检测样品仓内的真空度
*2．舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用防腐蚀
*3.真空等离子清洗机采用电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
*4．手动，自动两种模式任意切换
5．程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验
6.控制系统：采用触摸屏+内置计算机控制
7.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可
技术规格 ：

舱体尺寸： 230X230X230mm,容积：12升
样品托盘尺寸：205*205MM
射频频率： 13.56MHz
射频功率: 300W，10到300W无极可调，精度：1瓦
电源： ~220V   电流： 1.2A
时间设定：1秒到99分59秒
气体稳定时间：1分钟     气路设置：内置气体质量控制器(MFC)（气体流量控制可以选择外置的浮子流量计，这样可以优惠3000元），双气路
外形尺寸: 约550mmX550mmX600（高）mm    
基本配置 ：主机    真空软管  样品托盘 说明书  电源线 真空系统  油雾器    
真空泵抽气速率：8立方米/小时(2.2升/秒）  极限真空：0.05Pa   功率：400瓦