日本三丰ULTRA QV404超高精度影像测量仪
日本三丰ULTRA QV404超高精度影像测量仪
• ULTRA QV404 是实现了世界优异测量精度E1XY=(0.25+L/1000)µm 的超高精度 CNC 影像测量系统。
• 为了将直线度误差控制至*，X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。
• 通过 FEM (有限要素法) 解析后的设计实现了本体的高刚性化。
• 作为基准的测长方式采用了分辨力为 0.01µm的光学式线性编码器。该编码器的线性膨胀系数为零，将温度变化产生的误差控制到*限度。
规格
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ULTRA QV 404 | |
测量范围 (X×Y×Z) | 400×400×200mm | |
放大倍率转换系统 | PPT1X-2X-6X 分辨力 0.01 µm | |
长度测量装置 | 线性编码器 | |
影像测量方法 | CCD 照相机 | |
测量精度*1 *2 E1X, E1Y | (0.25+L/1000)µm | |
E1Z
| (1.5+2L/1000) µm (测量范围: 200mm) (1.0+2L/1000) µm (测量范围: 10 - 60mm)
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E2XY | (0.5+2L/1000)µm | |
照明装置 *3 | 同轴照明/ 透射照明/ 程控环形照明 | |
工作台玻璃尺寸 | 493×551mm | |
台面*承重 *4 | 40kg | |
尺寸 (W×D×H) | 1172×1735×1910mm | |
重量 ( 包括机器设置台 ) | 约 2150kg | |
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