D07-7CM气体质量流量计技术参数：
| 产品型号 | D07-7CM |
| 产品类型 | 普通型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
| 产品精度 | ±1.5％F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±1％F.S. |
| 响应时间 | ≤10sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 无阀 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Female |
| 工作压差范围 | ＜0.01 MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | CE |
| 重量 | 0.92 Kg |
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北京七星华创流量计有限公司
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