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　　中航招采科技(北京)有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2026-05-09在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
 

　　1、招标条件
 

　　项目概况:等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔 1台等离子增强型化学气相沉积设备和一个NSO制程腔
 

　　资金到位或资金来源落实情况:已落实
 

　　项目已具备招标条件的说明:已具备
 

　　2、招标内容
 

　　招标项目编号:0730-264010020011/05
 

　　招标项目名称:等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔
 

　　项目实施地点:中国福建省
 

　　招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔	1台等离子增强型化学气相沉积设备和一个NSO制程腔	1）在低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器工业中，PECVD(等离子增强型化学气相沉积)工艺用于形成表面覆盖层和非晶硅层(3Layer)、栅绝缘层（GI：Gate Insulator）、层间绝缘层（ILD：Interlayer Dielectric）和钝化层薄膜（Passivation）； 2）基板尺寸：1500mm （W） × 1850 mm（L）；基板厚度：0.4~0.7mm； 3）设备可用于生产表面覆盖层和非晶硅层薄膜，栅绝缘层薄膜，层间绝缘层和钝化层薄膜。	0730-264010020011-05

　　3、投标人资格要求
 

　　投标人应具备的资格或业绩:(1)制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2020年1月至今必须有同类型设备销售记录，用户反映效果良好(投标人需要提供业绩资料)。(2)一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与买方签订合同的能力，其投标将被否决。(说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。)
 

　　是否接受联合体投标:不接受
 

　　未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
 

　　4、招标文件的获取
 

　　招标文件领购开始时间:2026-05-09
 

　　招标文件领购结束时间:2026-05-15
 

　　是否在线售卖标书:否
 

　　获取招标文件方式:现场领购
 

　　招标文件领购地点：中航招标网(www.avicbid.com)
 

　　招标文件售价:￥3500/$600
 

　　5、投标文件的递交
 

　　投标截止时间(开标时间):2026-06-02 09:30
 

　　投标文件送达地点:中航招标网(www.avicbid.com)
 

　　开标地点:中航招标网(www.avicbid.com)
 

　　6、联系方式
 

　　招标人:厦门天马微电子有限公司
 

　　地址:中国厦门市翔安区翔安西路6999号
 

　　联系人:郭玲(含异议受理)
 

　　联系方式:027-81696888
 

　　招标代理机构:中航招采科技(北京)有限公司
 

　　地址:北京朝阳区慧忠路5号远大中心B座20层
 

　　联系人:李伟