预算200万元 福建理工大学采购材料制备与性能测试设备

品目号

品目编码及品目名称

采购标的

数量（单位）

允许进口

简要需求或要求

品目预算(元)

中小企业划分标准所属行业

1-1

A02109900-其他仪器仪表

磁控溅射

1(套)

否

1、反应溅射：通过多靶配置，同时可配置金属靶材、半导体靶材、陶瓷靶材等，与气压流量控制Ar/O₂/N₂等多路MFC精确配气、闭环控制分压，制备氧化物、氮化物、碳化物等功能陶瓷膜与化合物膜。 2、基片调控：基片加热（室温~800℃）、公转、负偏压，调节薄膜应力、致密度与附着力 ，改变成膜温度，调节负偏压电压及占空比数值，靶单位面积的功率密度等参数，调节出不同要求的工艺参数。 3、高通量模块设置，通过高通量挡板设置，一次性实现多种成份配比的样品，进行一次性检测和对比。 4、膜厚均匀性：4英寸范围内公转条件下 膜厚不均匀性≤±3%。 5、程序化工艺配方库：存储并自动连续调用多套溅射参数（功率、气压、时间、气体配比、温度），实现无人值守批量制备。 6、全程工艺参数自动记录、实验日志导出、批次可追溯。 具体详见附件及招标文件。

700,000.00

工业

1-2

A02109900-其他仪器仪表

力学试验机

1(套)

否

1. 试验机试验过程中视频与试验曲线可同步显示；试验结束后可在视频图表中同步显示视频和采集的试验数据，在试验任意时间点观察试样变化；录制视频与试验时间同步，可移动光标查看特定时间点对应图像；可将选择的视频图像复制到剪贴板用于进一步分析处理；可在试验报告中插入任意时刻的视频图像。 2. 可同时实现轴向和横向延伸率测量，满足JJG 762-2007 0.5级精度要求，实现单目三维图像导入、变形和应变测量分析；实现多组纵向和横向标距的变形和应变测量，支持UDP通讯协议实时传输数据参与试验结果运算；支持UDP通讯协议实时实现试验应变控制功能，支持以图表形式显示测量结果，数据可导出为Excel文件，含单目三维相机/专用镜头/单目三维集成光路系统/高精密光学平台，可实现DIC全场应变。 3.配置高低温环境箱：-70℃～+350℃， 温控表精度0.2级，液氮制冷带除霜系统，适用于DIC视频引伸计观测。 4.高温炉工作温度范围：300℃～1200℃；均温带长度≥100mm；热电偶规格：S型热电偶3根；温控表精度：0.1级；最小显示分辨率：0.1℃；拉杆夹具最高使用温度：1100℃；控温精度：±1℃；温度波动度：±1℃。 具体详见附件及招标文件。

1,300,000.00

工业