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超1.5亿元预算！中国科学院半导体研究所采购大批半导体专用设备
2026年10月12日 09:20:28
来源：化工仪器网 点击量：1181
中国科学院半导体研究所公布大批仪器采购意向，预算总金额15893万元。
近期，中国科学院半导体研究所公布大批仪器采购意向，计划采购激光器腔面钝化设备、高精度倒装焊芯片键合机、关键尺寸扫描电子显微镜、涂胶显影机、离子束刻蚀机、电感耦合等离子体刻蚀系统、高通量半导体量子材料微结构分析仪等仪器设备，预算总金额15893万元。预计采购时间2026年10月~11月。
采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院半导体研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
中国科学院半导体研究所仪器采购意向汇总
| 序号 | 采购项目 | 预算金额 | 预计 |
| 1 | 1100 | 2026年10月 | |
| 2 | 420 | ||
| 3 | 520 | ||
| 4 | 500 | ||
| 5 | 800 | ||
| 6 | 2200 | ||
| 7 | 220 | ||
| 8 | 300 | ||
| 9 | 1300 | ||
| 10 | 1400 | ||
| 11 | 1000 | ||
| 12 | 400 | ||
| 13 | 210 | ||
| 14 | 350 | ||
| 15 | 250 | ||
| 16 | 320 | ||
| 17 | 255 | ||
| 18 | 122 | ||
| 19 | 200 | 2026年11月 | |
| 20 | 150 | ||
| 21 | 98 | ||
| 22 | 470 | ||
| 23 | 178 | ||
| 24 | 1350 | ||
| 25 | 980 | ||
| 26 | 400 | ||
| 27 | 210 | ||
| 28 | 190 | ||
| 合计 | 15893 |
| |
| 来源：中国政府采购网 整理：化工仪器网 | |||
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