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中标超4900万元！中科院半导体研究所大批半导体设备采购落地
2026年07月29日 09:48:13
来源：化工仪器网 点击量：4833
据化工仪器网不完全统计，2026年1月至7月，中国科学院半导体研究所共采购17台/套半导体设备，采购总金额达4901.9275万元。
近期，中国科学院半导体研究所大批半导体设备采购落地。据化工仪器网不完全统计，2026年1月至7月，中国科学院半导体研究所共采购17台/套半导体设备，包括大面积光子晶体电子束曝光系统、多元素离子注入机、反应磁控溅射系统、高分辨场发射扫描电镜等，采购总金额达4901.9275万元。
此次中标项目中，Raith、烁科、芯微、元戎科技、蔡司、Newport等品牌成功中标。
中标详情如下：
| 序号 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价 |
| 1 | 大面积光子晶体电子束曝光系统 | Raith | VOYAGER Max | 1 | 1455.3075 |
| 2 | 多元素离子注入机 | 烁科 | 定制 | 1 | 1148 |
| 3 | 碳化硅高温氧化炉 | 芯微 | XW-9000i8A | 1 | 510 |
| 4 | 晶圆平整度检测仪 | TEST-WAY | ST-FS8000A | 1 | 247 |
| 5 | 反应磁控溅射系统 | 元戎科技 | YRSII-650 | 1 | 234 |
| 6 | 高分辨场发射扫描电镜 | 蔡司 | Sigma 360 | 1 | 219.5 |
| 7 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | NAURA | Taurus i200PES | 1 | 205 |
| 8 | 自动打线设备 | 众望 | K790-BA | 1 | 125 |
| 9 | 相位噪声分析仪 | 电科思仪 | 4141H | 1 | 117.7 |
| 10 | 高温退火炉 | 精诚华旗 | JS200-2F/NA | 1 | 116.9 |
| 11 | 高温氧化炉 | 精诚华旗 | JS200-2F/OX | 1 | 106.9 |
| 12 | 多波段无源全自动测试系统 | APICO | AP-SSAS-WDM-BAR-1S16 | 1 | 100 |
| 13 | 自动耦合设备 | APICO | AP-AASS006-3X-CUSTOM | 1 | 100 |
| 14 | 自动贴片设备 | 日月威 | FL0-F3H | 1 | 63 |
| 15 | 高精度光学扫描显微镜 | Newport | 定制 | 1 | 54.22 |
| 16 | 图形发生器系统 | Raith | Elphy Quantum | 1 | 50 |
| 17 | 双通道信号源 | 中星联华 | 定制 | 1 | 49.4 |
| 合计 | 17 | 4901.9275 | |||
| 来源：中国政府采购网 整理：化工仪器网 | |||||
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