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预算300万元 清华大学采购电感耦合等离子体增强化学气相沉积设备
2026年07月08日 09:09:39
来源：化工仪器网 点击量：3445
清华大学委托华诚博远工程咨询有限公司开展公开招标，采购电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)，项目预算300万元。
电感耦合等离子体增强化学气相沉积是集成电路、微纳加工领域必备的薄膜沉积核心设备，可通过高频电源电离反应气体实现低温成膜，主要用于沉积氧化硅、氮化硅、非晶硅等功能薄膜，支撑微电子工艺、半导体材料、微纳器件等方向科研实验，为校内前沿工艺实验室提供关键制程硬件支撑。
近日，清华大学委托华诚博远工程咨询有限公司开展公开招标，采购电感耦合等离子体增强化学气相沉积 (ICP-CVD)，项目预算300万元。有意向供应商可通过现场领取或线上申请的方式获取招标文件，并于2026年07月29日13:00 (北京时间) 前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清采招第20260231号
项目名称：清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目
预算金额：300.000000万元(人民币)
最高限价(如有)：296.000000万元(人民币)
采购需求：
| 包号 | 标的名称 | 采购包 预算金额 （万元） | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
| 01 | 电感耦合等离子体增强化学气相沉积（ICP-CVD） | 300 | 1套 | 是 |
简要技术需求：
01包：电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)是集成电路、微纳加工常用的、必备的薄膜沉积工具。通过高频电源，将反应气体电离成等离子体进行沉积，主要用于沉积氧化硅、氮化硅、非晶硅等薄膜，ICP-CVD的主要反应气体为SiH4、NH3、N2O等，沉积温度一般低于200℃等，具体详见采购需求。
■注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。
合同履行期限：合同签订后8个月内交付。合同货物整体质量保证期为验收合格之日起不少于12个月。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
2.1 中小企业政策
■本项目不专门面向中小企业预留采购份额。
2.2通过“信用中国”网站和中国政府采购网查询信用记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动。
2.3单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包的采购活动。
2.4为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的其他采购活动。
3.本项目的特定资格要求：无。
三、获取招标文件
时间：2026年07月07日至2026年07月14日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。(北京时间，法定节假日除外)
地点：北京市丰台区吴家村路57号华诚博远设计产业园一层或线上
方式：现场领取：须携带法人代表授权委托书原件及被授权人身份证复印件(以上资料均须加盖投标单位公章)。线上领取：线上领取招标文件时须将法人代表授权委托书原件、被授权人身份证复印件(以上资料均须加盖投标单位公章)彩色扫描件以及《招标文件领取登记表》以PDF形式发至邮箱 hcby03@126.com，邮件主题为“项目名称+潜在供应商名称”，邮件正文写明潜在供应商联系人和电话。《招标文件领取登记表》详见公告附件。
售价：￥100.0元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2026年07月29日13点00分(北京时间)
开标时间：2026年07月29日13点00分(北京时间)
地点：北京市海淀区华业大厦一层二区采购管理中心第三会议室(清华大学东南门外路东，建设银行西侧进大厅往右前方20米左手边，无需入校。不提供临时来访停车，请提前规划时间)。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
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