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预算超4.2亿元！中国科学院微电子研究所发布多项半导体工艺设备采购意向
2026年07月01日 11:07:17
来源：化工仪器网 点击量：3803
中国科学院微电子研究所发布多项半导体工艺设备采购意向，预算总金额达42539万元。
近日，中国科学院微电子研究所发布多项仪器设备采购意向，计划采购12吋等离子增强化学气相沉积设备、12吋内侧墙干法刻蚀系统、12吋前段单片清洗机、12吋湿法刻蚀机、低介电常数介质热原子层沉积系统、大束流低能离子注入机、高温炉管系统、介质化学机械抛光系统等核心工艺设备，覆盖薄膜沉积、图形刻蚀、晶圆清洗、离子掺杂、高温热处理、晶圆平坦化等集成电路制造关键工艺环节，同时包含光学膜厚仪等工艺检测设备，预算总金额42539万元。预计采购时间从2026年7月持续至11月。
采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院微电子研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
| 中国科学院微电子研究所采购意向汇总表 | |||
| 序号 | 采购项目名称 | 预算金额（万元） | 预计采购时间 |
| 1 | 3600 | 2026年7月 | |
| 2 | 1200 | ||
| 3 | 1150 | ||
| 4 | 4980 | ||
| 5 | 6000 | ||
| 6 | 4890 | ||
| 7 | 3600 | ||
| 8 | 1000 | ||
| 9 | 1850 | 2026年8月 | |
| 10 | 2430 | 2026年9月 | |
| 11 | 2694 | ||
| 12 | 3365 | ||
| 13 | 1280 | 2026年11月 | |
| 14 | 1300 | ||
| 15 | 3200 | ||
| 合计 | 42539 |
| |
| 来源：中国政府采购网 | |||
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