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X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法国家标准公开征求意见
2026年06月30日 09:57:16
来源：化工仪器网 作者：宋池 点击量：4072
国家标准计划《表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法》正在征求意见，该标准等同采用ISO 16129:2018，旨在为XPS仪器提供一种可日常开展的快速性能评估程序，以监测仪器状态、确保数据可靠性。
国家标准计划《表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法》目前正在面向社会征求意见。该标准由全国表面化学分析标准化技术委员会(TC608)归口，主管部门为中国科学院。
该标准的参与起草单位包括厦门佳集悦网络有限公司、清华大学、中国科学院化学研究所、中国石油大学(北京)、大连大学、中国科学院上海应用物理所。
X射线光电子能谱仪(XPS)结构复杂，操作人员未必能够及时察觉仪器性能的异常。因此，有必要建立一种可用于日常定期测试的方法，以便在不过度影响实验室正常工作的情况下，确认仪器是否正常运行。对仪器进行全面诊断测试可能需要数小时甚至数天，通常仅在已知仪器存在需要排除的故障，或在完成重大维护程序后，才适宜进行此类测试。
若未对谱仪进行例行测试，一旦发现问题，此前采集数据的可靠性可能受到影响，从而降低相关数据的可信度。若定期对仪器进行检查，则可监测其性能变化，并及时采取纠正措施，以确保所提供的数据满足预期用途要求。一旦发现严重故障，则只有自上次检查以来采集的数据可能存在疑问并需要重新采集。
本文件旨在为用户提供一种不过度耗时的方法，使其能够定期开展，必要时可每日开展。通过该方法，用户可及时了解仪器的当前特性，并据此判断是否需要采取更全面且耗时更长的措施，以使仪器恢复到令人满意的性能水平。本方法适用于已按照国家标准、ISO标准或制造商说明书正确校准和调准的XPS仪器，旨在发现仪器当前特性相对于校准程序完成后初始测量结果的显著变化。本方法并不说明如何将仪器恢复至原始状态，而是用于指导用户确认可能存在问题的部位。本方法提供的数据可用于绘制控制图，以便观察性能变化趋势，并在数据质量下降至不符合分析要求的水平前及时采取措施。
根据征求意见稿的“范围”部分，本文件给出了用户能够定期评估X射线光电子能谱仪的若干关键参数。本文件并非用于提供全面的性能检查，而是确立了可定期执行的快速检测程序。本文件涉及的仪器运行状态包括真空状况、导电或非导电试样谱图的测量，以及X射线源的当前状态。仪器性能的其他重要方面，如横向分辨能力，不属于本文件的范围。本文件适用于配备单色化AlKα X射线源，或配备非单色化AlKα或MgKα X射线源的商用X射线光电子能谱仪。
在标准制定的主要内容及其确定依据方面，本标准等同采用ISO 16129:2018 (E)《表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法》，文件类型由ISO的技术规范调整为我国的国家标准。本标准文本的编写严格遵守了GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》和GB/T 1.2-2020《标准化工作指南 第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》中给出的规则和格式要求。
目前，该标准计划正处于征求意见阶段，相关单位和社会公众可按程序提出反馈意见。
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