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预算超7500万元 中科院半导体研究所6月采购大批仪器
2026年06月05日 09:03:24
来源：化工仪器网 点击量：3865
中国科学院半导体研究所公布6月仪器采购意向，预算总金额7545.47万元。
近期，中国科学院半导体研究所公布6月仪器采购意向，计划采购等离子体增强原子层沉积设备、晶圆平整度检测仪、反应磁控溅射系统、原子层沉积系统、多元素离子注入机、化学机械抛光设备等仪器设备，预算总金额7545.47万元。预计采购时间2026年6月。
采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院半导体研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
中国科学院半导体研究所仪器采购意向汇总
| 序号 | 采购项目 | 预算金额 | 预计 |
| 1 | 443 | 2026年6月 | |
| 2 | 540 | ||
| 3 | 1275 | ||
| 4 | 150 | ||
| 5 | 247.47 | ||
| 6 | 86 | ||
| 7 | 305 | ||
| 8 | 480 | ||
| 9 | 200 | ||
| 10 | 235 | ||
| 11 | 98 | ||
| 12 | 98 | ||
| 13 | 325 | ||
| 14 | 195 | ||
| 15 | 800 | ||
| 16 | 180 | ||
| 17 | 222 | ||
| 18 | 672 | ||
| 19 | 188 | ||
| 20 | 476 | ||
| 21 | 330 | ||
| 合计 | 7545.47 |
| |
| 来源：中国政府采购网 整理：化工仪器网 | |||
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