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总预算7.6亿元！中科院微电子研究所采购大批仪器设备
2026年06月01日 13:47:23
来源：化工仪器网 点击量：214
中国科学院微电子研究所发布多项仪器设备采购意向，预算总金额76069万元。
近期，中国科学院微电子研究所发布多项仪器设备采购意向，计划采购大批半导体专用设备，包括激光隐形切割成套设备、12吋晶圆等离子划片机、光刻机用涂胶显影机、化合物半导体CMP系统、微波等离子体化学气相沉积系统、原子层刻蚀机等，预算总金额76069万元。预计采购时间2026年6月~9月。
采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院微电子研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
中国科学院微电子研究所仪器采购意向汇总
| 序号 | 采购项目 | 预算金额 | 预计 |
| 1 | 1000 | 2026年6月 | |
| 2 | 1880 | ||
| 3 | 5300 | ||
| 4 | 350 | ||
| 5 | 290 | ||
| 6 | 7500 | ||
| 7 | 5237 | ||
| 8 | 900 | ||
| 9 | 3140 | ||
| 10 | 7000 | ||
| 11 | 300 | ||
| 12 | 300 | ||
| 13 | 950 | ||
| 14 | 150 | ||
| 15 | 980 | ||
| 16 | 200 | ||
| 17 | 110 | ||
| 18 | 200 | ||
| 19 | 1100 | ||
| 20 | 2200 | ||
| 21 | 500 | ||
| 22 | 700 | ||
| 23 | 420 | ||
| 24 | 350 | ||
| 25 | 800 | ||
| 26 | 200 | ||
| 27 | 328 | ||
| 28 | 489 | ||
| 29 | 875 | ||
| 30 | 365 | ||
| 31 | 500 | ||
| 32 | 400 | ||
| 33 | 250 | ||
| 34 | 500 | ||
| 35 | 490 | ||
| 36 | 430 | ||
| 37 | 250 | ||
| 38 | 300 | ||
| 39 | 300 | ||
| 40 | 1700 | ||
| 41 | 1150 | 2026年7月 | |
| 42 | 4980 | ||
| 43 | 6000 | ||
| 44 | 4890 | ||
| 45 | 3600 | ||
| 46 | 1000 | ||
| 47 | 1850 | 2026年8月 | |
| 48 | 3365 | 2026年9月 | |
| 合计 | 76069 |
| |
| 来源：中国政府采购网 整理：化工仪器网 | |||
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