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近6亿元预算！中科院微电子研究所采购大批半导体专用设备
2026年04月28日 14:10:06
来源：化工仪器网 点击量：824
中国科学院微电子研究所发布多项仪器采购意向，预算总金额59954万元。
近期，中国科学院微电子研究所发布多项仪器采购意向，计划采购激光隐形切割成套设备、微光显微镜分析系统、光刻机用涂胶显影机、多功能高通量高灵敏加工表征系统、超声波扫描显微镜、热反射分析仪、原子层沉积系统等仪器设备，预算总金额59954万元。预计采购时间2026年4月~7月。
采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院微电子研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
中国科学院微电子研究所仪器采购意向汇总
| 序号 | 采购项目 | 预算金额 | 预计 |
| 1 | 2312 | 2026年4月 | |
| 2 | 460 | 2026年5月 | |
| 3 | 540 | ||
| 4 | 460 | ||
| 5 | 333 | ||
| 6 | 575 | ||
| 7 | 500 | ||
| 8 | 180 | ||
| 9 | 400 | ||
| 10 | 1000 | 2026年6月 | |
| 11 | 1880 | ||
| 12 | 5300 | ||
| 13 | 350 | ||
| 14 | 290 | ||
| 15 | 7500 | ||
| 16 | 5237 | ||
| 17 | 900 | ||
| 18 | 3140 | ||
| 19 | 7000 | ||
| 20 | 300 | ||
| 21 | 300 | ||
| 22 | 950 | ||
| 23 | 150 | ||
| 24 | 980 | ||
| 25 | 200 | ||
| 26 | 110 | ||
| 27 | 200 | ||
| 28 | 180 | ||
| 29 | 180 | ||
| 30 | 1100 | ||
| 31 | 2200 | ||
| 32 | 500 | ||
| 33 | 700 | ||
| 34 | 420 | ||
| 35 | 350 | ||
| 36 | 800 | ||
| 37 | 200 | ||
| 38 | 328 | ||
| 39 | 489 | ||
| 40 | 875 | ||
| 41 | 365 | ||
| 42 | 500 | ||
| 43 | 400 | ||
| 44 | 250 | ||
| 45 | 500 | ||
| 46 | 490 | ||
| 47 | 430 | ||
| 48 | 250 | ||
| 49 | 300 | ||
| 50 | 300 | ||
| 51 | 1700 | ||
| 52 | 3600 | 2026年7月 | |
| 53 | 1000 | ||
| 合计 | 59954 |
| |
| 来源：中国政府采购网 整理：化工仪器网 | |||
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