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奥伟登CIOE 2025光学测量双新品首发 破解高精度光学检测难题
2025年09月12日 15:06:47
来源：化工仪器网 作者：宋池 点击量：13145
在Evident（奥伟登）新品发布会后，化工仪器网特别采访了公司应用工程师吴丹霞和高级经理马永坚，请他们详细解读了刚刚发布的LEXT OLS5500激光共聚焦显微镜和WLI白光干涉物镜系列的技术特点与应用价值。
9月10日，在第26届中国国际光电博览会隆重举办之际，国际光学科技企业Evident(奥伟登)以全新中文品牌名称首次亮相这一行业盛会，并在展会期间成功举办新品发布会，重磅推出LEXT OLS5500激光共聚焦显微镜与WLI白光干涉物镜系列两款创新产品。其多技术集成设计与针对性解决行业痛点的性能表现，成为展会焦点。
为进一步挖掘新品在技术细节、精度优势、场景适配等维度的核心价值化工仪器网在发布会后特别专访了 Evident 应用工程师吴丹霞与高级经理马永坚，围绕两款新品的定位、技术突破及应用落地展开深度对话。以下是采访实录：
Q：在刚刚结束的发布会上，奥伟登发布了激光共聚焦显微镜OLS5500。我们对于这款新产品的一个定位是什么呢?它能够满足一些怎么样的一个应用场景呢?
吴丹霞：此次推出的全新一代激光共聚焦显微镜OLS5500是一款面向研发、质量检测和质量控制(QA&QC)等领域的中高端三维轮廓精密测量系统。它集高精度、高稳定性和高效率于一体，可以全面覆盖多种严苛的工业和科研场景的需求：在电子半导体市场，它可以有效兼顾检测精度和效率；在材料科学市场，先进的成像技术和丰富的分析工具可以帮助实现对材料微观结构的深入解析；在精密制造市场，则可以保障批量检测中数据的可靠性和流程一致性。
Q：随着工业制造水平的逐步提升，用户对光学显微镜提出了更高的要求。奥伟登本次发布的这款新产品相较于前代产品实现了什么样的技术突破？如何更好地满足亚微米3D观察和表面粗糙度测量的精准度要求？
吴丹霞：OLS5500相较于上一代产品最核心的突破，在于首次将激光扫描显微、白光干涉和聚焦变化三种主流光学成像技术集成于一体，将设备的微观分析能力从OLS5100的微米级别拓宽延伸至覆盖毫米级到纳米级，实现“一台设备检测多种样品类型”。相较之下，它既可以在保障准确性的同时实现更高的分析精度，而且对于同个样品可以无缝实现从宏观轮廓到纳米结构的跨尺度精密分析，并且可以满足大视场下的亚微米甚至纳米级3D 观察和表面粗糙度测量需求。
Q：OLS5500目前的精度可以达到多少？这个精度在同类产品中处于怎样的技术水平？在实际应用场景过程中，这种高分辨率是如何应对工业环境当中的干扰问题呢？
吴丹霞：OLS5500的平面分辨率能达到0.12 微米，垂直分辨率能达到0.08纳米。这个分辨精度，在同类产品中处于第一梯队。在实际工业环境中，振动、温度波动、电磁干扰等都是高精度测量需要克服的问题。OLS5500采用的是Evident自主研发的光学系统，能够实现设备性能的稳定和一致，确保出厂设备的测量噪声水平达到最佳；其次OLS5500机身带有混合式减震设计能稳定操作环境；同时在软件的设计上智能噪声判断功能能自动检测可靠数据，消除环境噪声的干扰。这些设计使得OLS5500即使在复杂条件下也仍能为用户提供可靠的高精度数据。目前Evident是业内唯一可同时保证激光扫描与白光干涉测量准确性和重复性的企业。
Q：奥伟登本次发布的白光干涉物镜在光学性能上有着什么样的突破？在材料、技术等方面如何提升物镜干涉条纹对比度？
马永坚：此次新发布的白光干涉物镜是基于大量客户需求调研后进行的独特设计，重点解决了当前白光干涉仪在测量大坡度样品时的技术难题。
首先，该物镜具备较高的数值孔径，最高达到0.8，能够更有效地收集来自大坡度光滑样品表面的反射光，从而显著提升白光干涉仪在这类样品上的测量精度。同时，物镜配备了干涉条纹温度补偿调节环。在环境温度发生波动时，用户可通过调节该环始终保持最佳的干涉条纹对比度，无需因温度变化而担心测量稳定性。此外，我们在调节环上设置了四个固定螺丝，每隔90度布置一个。这样用户在使用过程中可有效避免因设备振动或调节环自身位移所导致的干涉条纹偏移问题，进一步保障测量的重复性与准确性。
除了结构方面的优化，每一个出厂物镜均附有严格的检测报告，其中包括参考镜的粗糙度与对比度数据。因为参考镜作为白光干涉物镜的核心部件，其质量直接影响测量的准确性。同时，我们还提供波前像差校准报告。此外，该物镜采用半复消色差光学设计，具有良好的分辨率和色差校正能力。
Q：这款产品如何满足晶圆等表面形态的检测需求，尤其是在粗糙度与台阶高度测量方面？
马永坚：随着半导体技术和MEMS器件的广泛应用，具有复杂坡度结构且需纳米级测量的样品越来越多。针对这方面的需求，我们调研了众多客户实际案例，将产品设计重点放在高数值孔径上，使其能够实现对高陡坡样品的纳米级三维形貌测量。这正是当前行业的一大痛点，也是我们产品的核心优势。
Q：与传统的干涉物镜相比，这款产品在测量速度、环境适应性与智能化操作方面是否具备差异化优势？
马永坚：是的。例如，我们20倍物镜的数值孔径为0.65，10倍物镜更是达到了0.8。相比之下，传统物镜通常需达到50倍放大倍率才能实现与我们20倍物镜相当的数值孔径。高数值孔径带来最直接的优势是检测通量的大幅提升。我们的20倍物镜视场面积可达传统50倍物镜的6倍。在进行大区域扫描或图像拼接时，可显著减少拼接次数，从而提高检测效率和整体测量通量。
Q：这款产品的最终定位是什么？它适用于哪些应用场景？
马永坚：这款白光干涉物镜主要应用于基于白光干涉测量技术的光学轮廓仪。无论是用于研究室、实验室的台式光学轮廓仪，还是集成于在线检测设备中，只要设备使用了白光干涉检测技术，均可适配这款物镜。它适用于需要高精度表面形貌测量的多种工业与科研场景。
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