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中科仪北交所IPO申请获受理 拟募资扩产半导体核心设备
2025年07月17日 14:22:51
来源：化工仪器网 作者：宋池 点击量：5146
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（中科仪）北交所IPO申请获受理。本次IPO拟募资8.52亿元，主要用于干泵扩产、高端半导体设备研发中心建设及新一代产品研发。
北京证券交易所于6月30日正式受理了中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(简称：中科仪)的首次公开发行股票并上市的申请。
中科仪是中国领先的干式真空泵及真空科学仪器设备供应商，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。其核心产品干式真空泵是集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体生产中的关键设备，长期由欧美及日本企业主导。中科仪通过自主研发实现了技术突破。
在干式真空泵领域，中科仪的产品满足14nm先进逻辑芯片及128层及以上3D NAND存储器的工艺要求，并在国内先进制程领域实现批量应用。公司已服务于中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、华润微、上海积塔、广州粤芯等国内主流晶圆制造企业，以及北方华创、拓荆科技等半导体设备厂商。其产品已通过台积电、大连英特尔、SK海力士的测试验证，实现小批量出货。除硅基半导体外，产品在碳化硅、砷化镓等化合物半导体制备中也实现批量交付。
在真空科学仪器设备领域，中科仪深度参与国家重大科技基础设施建设，先后承担了包括北京正负电子对撞机、上海光源、北京高能同步辐射光源等在内的11项国家重大科技基础设施的关键真空部件研制工作，是光束线、波荡器、前端区等核心部件的最主要研制单位。其前身成功研制了国产分子束外延设备(MBE)，打破了国外长期禁运。
财务数据显示，中科仪近年来业绩持续增长。2022至2024年，公司营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元和10.82亿元；对应的净利润分别为4.98亿元、6亿元和1.93亿元。
此次IPO，中科仪计划募集资金8.52亿元，主要用于三个项目：
干式真空泵产业化建设项目拟使用募集资金2.31亿元，建设期4年。该项目旨在通过新建厂房、购置高端生产设备、建设智能化产线，显著提升干式真空泵的产能，最终形成年产20,040台的生产能力。项目将大幅提升加工产线的自动化及智能化水平，目标自动化率超过90%。公司指出，在集成电路晶圆制造生产线中，约70%的专用装备需要在真空工艺环境下生产组装，干式真空泵因其环保、高效、清洁无油及耐腐蚀的特性，成为该行业的首选真空获得设备。目前项目已完成土地购置、部分厂房及产线建设以及部分设备购置。
高端半导体设备扩产及研发中心建设项目拟使用募集资金4.74亿元。该项目将建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，引入自动化生产设备和先进的研发测试仪器。主要目标是扩大H系列干式真空泵的产能，该系列产品是集成电路设备(如刻蚀、PVD、CVD工艺)中的重要配套设备，也可应用于泛半导体领域。同时，项目也将扩产少量主要用于科研、工业、医药等领域的涡旋泵。
新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目拟使用募集资金1.21亿元，建设期3年。该项目将研发面向半导体领域的超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品，同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等更广阔市场，开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组。项目还将建设数字化管理平台，以支撑未来的研发与业务发展。
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