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超2.1亿元 华中科技大学仪器采购意向
2025年03月17日 11:17:26 来源:化工仪器网 点击量:4362

华中科技大学计划采购傅里叶变换红外显微镜、全真空型傅里叶变换红外光谱仪、原子层沉积等仪器设备,预算超2.1亿元。

  近期,华中科技大学连续发布36项仪器采购意向,预算金额高达21498万元。涉及仪器设备包括显微多普勒激光测振仪、氧化物单层沉积系统、傅里叶变换红外显微镜、全真空型傅里叶变换红外光谱仪、原子层沉积、化学机械研磨、反应离子刻蚀机等。预计采购时间2025年3月至11月。
 
  采购意向只是政府采购的初步安排,具体采购情况以华中科技大学发布的采购公告和采购文件为准,有意向的企业可持续关注该校发布的招标信息。
 
  华中科技大学仪器采购意向汇总

序号

采购项目
名称

采购需求概况

预算金额
(万元)

预计
采购日期

1

显微多普勒激光测振仪

显微多普勒激光测振仪1台

350

2025年4月

2

氧化物单层沉积系统

氧化物单层沉积系统1台

260

2025年7月

3

激光掩膜直写系统

激光掩膜直写系统1台

850

2025年4月

4

中束流注入机

中束流注入机1台

2000

2025年7月

5

傅里叶变换红外显微镜

傅里叶变换红外显微镜1台

110

2025年4月

6

全真空型傅里叶变换红外光谱仪

全真空型傅里叶变换红外光谱仪1台

140

2025年4月

7

湿法刻蚀机

湿法刻蚀机2台

220

2025年7月

8

原子层沉积

原子层沉积1台

450

2025年4月

9

电子束蒸发镀膜设备

电子束蒸发镀膜设备1台

860

2025年7月

10

等离子体辅助化学气相沉积仪(PECVD)

等离子体辅助化学气相沉积仪(PECVD)1台

280

2025年7月

11

溅射台

溅射台1台

2200

2025年4月

12

减薄机

减薄机1台

400

2025年7月

13

化学机械研磨

化学机械研磨1台

1100

2025年7月

14

HF气相刻蚀机

HF气相刻蚀机1台

480

2025年4月

15

反应离子刻蚀机

反应离子刻蚀机1台

220

2025年7月

16

金属刻蚀机

金属刻蚀机1台

600

2025年7月

17

Trench深硅刻蚀机

Trench深硅刻蚀机1台

1170

2025年7月

18

RCA清洗机

RCA清洗机1台

680

2025年7月

19

双面曝光机

双面曝光机1台

380

2025年4月

20

I线涂胶显影机

I线涂胶显影机1台

445

2025年7月

21

喷胶机

喷胶机1台

330

2025年7月

22

激光隐切划片机

激光隐切划片机1台

300

2025年7月

23

磁控溅射镀膜设备

磁控溅射镀膜设备1台

1600

2025年7月

24

立式低压化学气相沉积(LPCVD)

立式低压化学气相沉积1台

750

2025年4月

25

Scrubber尾气处理系统

Scrubber尾气处理系统1台

450

2025年11月

26

特殊气体供气系统

特殊气体供气系统1台

1800

2025年11月

27

PM CLEAN PM 清洗系统

PM CLEAN PM 清洗系统1台

380

2025年11月

28

8英寸介质刻蚀机

8英寸介质刻蚀机1台

450

2025年4月

29

氧化物电介质磁控溅射仪

氧化物电介质磁控溅射仪1台

203

2025年4月

30

晶圆键合机

晶圆键合机1台

490

2025年4月

31

脉冲波ESR谱仪微波系统

脉冲波ESR谱仪微波系统1套

300

2025年3月

32

高重频飞秒激光器

高重频飞秒激光器1台

170

2025年3月

33

光波元件分析仪

光波元件分析仪1台

390

2025年3月

34

单脉冲激光器

单脉冲激光器4台/套

140

2025年3月

35

宽频段太赫兹光源

宽频段太赫兹光源1台/套

200

2025年3月

36

智能活细胞实时成像分析系统

智能活细胞实时成像分析系统

350

2025年3月

 
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