随着半导体技术向3nm/2nm先进制程迈进，以及第三代半导体(GaN、SiC)和异质集成技术的快速发展，芯片性能与可靠性面临前所未有的挑战。超精密分析技术已成为突破工艺瓶颈、提升良率的核心手段——从原子级缺陷检测、纳米尺度材料表征，到封装互连的微区性能分析，每一步都依赖高精度、高灵敏度的分析仪器与前沿方法。
 

　　2025年3月19日14：00，化工仪器网举办“第四届半导体超精密分析技术及应用线上研讨会”，将聚焦第三代半导体材料与器件的超精密分析技术，深入解析前沿分析方法、应用场景与国产化路径，为产业发展注入新动能，助力加速技术迭代与产业升级。
 

　　会议日程
 

具体以现场为准
 

　　讲师介绍(排名不分先后)
 

　　丁传凡，浙江省先进质谱技术与分子检测重点实验室主任
 

　　教授，博士生导师。浙江省先进质谱技术与分子检测重点实验室主任，宁波大学材料科学与化学工程学院特聘院长，质谱技术与应用研究院副院长。主要研究方向为质谱仪器和方法及其在临床医学，生命科学，化学和环境等方面的应用。在国内外一流学术杂志上发表SCI/EI论文230余篇；获授权中国、美国、日本、德国、英国发明专利110余项。已转让国际和中国发明专利20余项，转让资金1100余万。先后主持国家自然科学基金重大科学仪器项目，重点项目，面上项目，科技部重大仪器项目、科技支撑计划，国家科技攻关重大项目等。
 

　　周维虎，中国科学院微电子研究所二级研究员
 

　　担任国家科技奖评审专家、中国机械工业科学技术奖评审专家、国家02重大专项光学曝光系统总体组专家、科技部十三五先进制造领域重大科技任务实施方案编写组专家/总体组专家、科技部十三五科学仪器设备开发重大科技任务实施方案编写组专家/总体组成员、国家02重大专项项目验收专家、863项目验收专家、973项目评审专家、科技部科学仪器重大专项评审专家(技术专家、监理、中期评估专家组组长)、科技部国际合作评审专家、自然基金评审专家(重大科学仪器专项、优青、面上、青年基金)、中国博士后科学基金评审专家、省市级自然基金评审专家(北京市、上海市、天津市、江苏省、浙江省自然基金)、省市级科技计划评审专家(北京市、上海市、江苏省、苏州市、常熟市、张家港市等)； 全国 光电测量标准化技术委员会秘书长、中国计量测试学会计量仪器专业委员会副主任委员、中国仪器仪表学会光谱仪器专业委员会副主任委员、全国几何量长度计量技术委员会特聘委员、中国仪器仪表学会精密机械分会理事会理事、中国仪器仪表学会光机电技术与系统集成分会委员、中国仪器仪表行业协会专家委员、全国光辐射安全和激光设备标准化技术委员会委员、全国产品尺寸和几何技术规范标准化技术委员会委员、中国计量测试学会微纳测量技术委员会委员、中科院计算光学重点实验室学术委员会委员、北京市光电信息与仪器工程研究中心学术委员会委员、中关村光电产业协会理事/专家委员、中国光学工程学会委员、中国光学学会光电技术专业委员会委员;目前主要研究方向为集成电路超高精度光学检测、激光跟踪多自由度测量、飞秒激光频率梳高性能测量、视觉三维几何量测量及缺陷检测等。先后参与国家02重大专项、国家自然基金委重大仪器专项发展战略、科技部科学仪器重大科技任务“十三五”实施方案、科技部先进制造重大科技任务“十三五”实施方案、中科院有关科技计划等论证与编写工作。
 

　　方伟宇，珀金埃尔默企业管理(上海)有限公司资深应用工程师
 

　　毕业于东华大学，获得高分子材料硕士学位，期间主要从事特种纤维的聚合、纺丝和改性研究。现任珀金埃尔默技术支持，主要负责分子光谱的应用。
 

　　王海银，徕卡显微系统(上海)贸易有限公司应用工程师
 

　　本硕毕业于英国帝国理工学院，纳米材料硕士，现为徕卡显微系统工业显微镜应用工程师，负责工业显微镜相关的技术支持工作。熟悉半导体光刻技术，在微电子、材料科学及其他先进制造领域有丰富的应用经验。
 

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