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上海市发布《半导体行业污染物排放标准(二次征求意见稿)》

2022年09月23日 15:40:19来源:化工仪器网作者:宋池点击:3013
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  【化工仪器网 标准发布】近日,上海市生态环境局征求《半导体行业污染物排放标准(二次征求意见稿)》意见,截止日期为2022年10月20日。
 
  半导体行业生产过程会排放有机废气、酸性废气以及碱性废气等污染物。这些污染物是生成酸雨和二次细颗粒物PM2.5的前提因子,有机废气、酸性废气的排放转化为二次污染是导致形成区域性光化学烟雾、酸雨和灰霾/雾霾复合型污染物的重要原因之一。同时,半导体行业属于耗水量巨大的行业,由此产生的废水排放量也很大。因必须的电镀等工艺,还会产生重金属的排放,形成一定的环境风险。
 
  上海是我国集成电路产业最集中、产业链相对最为完整、综合技术水平最高的产业基地,芯片设计、制造与封装测试业在我国均占有重要地位。随着国家进一步贯彻落实《国家集成电路产业发展推进纲要》,以及《中国制造业2025》等国家战略的实施,上海集成电路产业将展示出更为广阔的发展前景。因此对于行业发展产生的污染排放也需要制订更严格的标准。
 
  现行标准自2007年2月1日正式实施,本次修订为第一次修订,对DB31/374-2006的主要修订之处如下:
 
  调整了水污染物排放标准的标准分级;将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同一级别的排放标准,将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别;调整了大气污染物排放标准的排放速率控制方式,将原来按不同排气筒高度制定标准调整为执行同一标准;
 
  调整了污染物控制项目:增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、总锌、总硼、总钴、总锡、总铊、综合毒性;增加了大气污染物控制项目氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物、氮氧化物;
 
  调整了部分污染物项目的排放限值;收严了悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、总有机碳等10项水污染物项目的排放限值;收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物的排放限值;
 
  增加了厂界大气污染物控制点浓度限值;
 
  更新了部分污染物项目的测定分析方法。

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